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환경 모니터링 시스템
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반도체 제조

공정 매개변수 측정 시 탁월한 정확도를 제공하는 시스템

 

 주요 응용 분야는 다음과 같습니다.

 

  • 확산로

  • MBE 기기

  • 결정 성장

  • CVD

  • MBE

  • 환경 모니터링

 

Eurotherm 시스템은 공정 매개변수 측정 시 탁월한 정확도를 제공하며, 공정 및 반복성의 효율적이고 장기적인 제어에 필요한 고도로 안정적인 입력을 제공합니다.

 

정보 시스템 관리 목적으로 공정 수치를 원격으로 통신하는 기능이 내장되어 있어 관리 제어 능력이 개선되고, 결과적으로 생산량과 제품 품질이 향상됩니다.

반도체 솔루션
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